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2024-06-20 03:14:57
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具体实施方式为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座1、主炉室2、副炉室3、下驱动装置4和上驱动装置5,所述主炉室2和下驱动装置4均安装在底座1上,所述主炉室2内设置有炉室坩埚21,所述下驱动装置4和主炉室坩埚21相连,以便通过下驱动装置4驱动主炉室坩埚21升降,所述副炉室3和主炉室2相连通,所述上驱动装置5安装在副炉室3的上端,以便通过上驱动装置5驱动拉晶,其特征在于,它还包括:外部加料器6,所述外部加料器6内设置有加料腔61,所述加料腔61内设置有加料坩埚62,所述外部加料器6的盖装有上盖63;蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,所述热场73套装在化料器坩埚72的外侧,便硅料依次进入加料坩埚62、装料器71和化料器坩埚72,并在化料器坩埚72内经热场73熔化后又进入主炉室坩埚21,为了方便外部加料器6的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器6升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器6旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器6通过加料器旋臂8连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂8升降,并通过加料器旋臂8带动外部加料器6升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂8之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂8一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂8旋转,加料器旋臂8又带动外部加料器6旋转。
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