多功用磁控溅射镀膜系统,由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸腾镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造,使整个薄膜生长和器材制备过程高度集成在一个完整的可控环境气氛的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高功用、大面积有机光电器材和电路的制备。
关于真空镀膜机所用的塑料材料,需要与膜层结合性高,放气量小,受热稳定,一起满意这三个条件的塑料资料是十分少的,但塑料资料在工业出产中的应用却十分广泛,所以塑料真空镀膜机的应用也随之发展起来,为了使更多的塑料投入到真空镀膜中,常常经过各种方法改善。
真空镀膜中常用的塑料,ABS是早运用的,是一起满意三个条件的塑料,A代表丙烯腈,B代表丁二烯,S代表苯乙烯,塑料中含有以上三种物质的便是ABS塑料了,ABS镀上膜层后,能够很好的发挥其机械功能、抗冲击性,依靠其硬度大,耐磨损,本钱不高,常常被用于替代某些金属机械零部件,也用于出产家用电器的外壳,但由于含有丁二烯,ABS不能在室外运用,否则会变色。
众所周知,真空镀膜机的运行状态将直接影响镀膜产品的质量。为了更好地运行,有必要对真空镀膜机进行维护。那么,你知道真空镀膜机维护的意义吗? 设备的日常维护就是发现生产中的异常现象,尽早解决。如果发现机械泵的油量减少,应该添加。不要认为应该定期换油。否则,在进行维护时,泵的转子可能会严重磨损。比如有些轴承工件被夹住,就要更换轴承;否则坏了,问题就严重了,可能会出现电机烧毁等问题。
定期保养,有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上,每个设备都有使用寿命。例如,用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不,在生产中,设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养,不仅可以延长设备的使用寿命,还可以减少运行故障,提高生产效率。
前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦,避免溅射镀膜机的很多小问题,对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。
真空是支撑真空镀膜机运行的环境,尤其是需要高真空度的设备。通常,我们需要达到高的真空度,而抽气系统的功能是不可缺少的。但是除了抽气系统之外,真空镀膜设备的操作还有一点,就是工件的脱气。有些工件内部有大量气体和水分,在设备加热时会排入真空室,降低真空度。更有甚者,有些气体含有有毒成分,直接破坏真空室内部机械结构,导致设备无法正常运行。
在镀膜的过程中,由于工件内气体的受热膨胀,很容易使已经镀膜的薄膜开裂。当然,这种情况的概率取决于工件本身的物理性质。比如容易膨胀的,比如塑料,概率就比较高,而对于坚硬的材料,比如金属,概率就比较低,但也不能忽略。因此,工件的除气是非常必要的。
与传统的镀膜方法相比,真空镀膜属于干法镀膜,其主要方法有以下几种:
1.真空蒸发
其原理是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发材料使其蒸发或升华,蒸发的离子流直接射向基片,在基片上沉积固体薄膜。
2.溅射涂层
溅射镀膜是一种真空条件,在阴极施加2000V高压激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极喷出原子。溅射的原子通过惰性气氛沉积在衬底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.离子电镀法
即干式螺杆真空泵制造商已经推出的真空离子涂层。它是在上述两种真空镀膜技术的基础上发展起来的,所以具有两者的工艺特点。在真空条件下,工作气体或蒸发物质(膜材料)通过气体放电被部分电离,蒸发物质或其反应物在离子轰击下沉积在基片表面。在成膜的过程中,衬底总是受到高能粒子的轰击,这使得它非常干净。
4.真空卷绕涂层
真空镀膜是通过物理气相沉积在柔性基板上进行连续镀膜的技术,以实现柔性基板的某些功能性和装饰性。