特气管路水分检测

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水份分析测试(TRACE MOISTURE )

特气管道水分测试验收标准：

参考标准：GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范

1.特种气体系统水分测试时，气体速度应低于设计流速的10%，且小于3m/s；

2.测试气源的水分应小于1ppbv；

3.测试气体水分增量应小于20ppbv；

4.测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为合格。

在气体管路工程，尤其是氢气管路等工程中，因为施工装配等原因，管路之间的连接处会存在一些肉眼差距不到的漏孔，这在使用时会导致泄露以及安全事故。

尤其是在半导体、集成电路等微电子行业输送纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重烟

工艺上对于纯度要求高的气体都需做氨检，甚至要求气体管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送气通常气体的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上