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水份分析测试(TRACE MOISTURE )
特气管道水分测试验收标准:
参考标准:GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范
1.特种气体系统水分测试时,气体速度应低于设计流速的10%,且小于3m/s;
2.测试气源的水分应小于1ppbv;
3.测试气体水分增量应小于20ppbv;
4.测试结束后,应至少保持20min稳定在规定值以下为合格。
在气体管路工程,尤其是氢气管路等工程中,因为施工装配等原因,管路之间的连接处会存在一些肉眼差距不到的漏孔,这在使用时会导致泄露以及安全事故。
尤其是在半导体、集成电路等微电子行业输送纯电子气体的气体管道工程中,如果发生泄漏,将对生产安全产生很大影响,因此泄漏检测非常重烟
工艺上对于纯度要求高的气体都需做氨检,甚至要求气体管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送气通常气体的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上