OLS5000金相显微镜

型号

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

总倍率

54x - 17,280x

视场直径

16um - 5,120um

帧率（激光观察 ）[fps]

3.25 / 55.6

帧率 (彩色观察)   [FPS]

30

测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜 

反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜

彩色

彩色-DIC

光接收元件

激光：光电倍增管（2ch）彩色：CMOS彩色相机

高度测量

显示分辨率

0.5纳米

光栅尺

0.78纳米

动态范围

16位

可重复性σ *1 *2 *5 n-1

5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm　　

正确性 *1 *3 *5

0.15+L/100微米(L:测量值[毫米]）

拼接图像正确性 *1 *3 *5

10X：5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm （L:   测量长度[μm]）

测量噪声（Sq噪声） *1   *4 *5

1纳米

宽度测量

显示分辨率

1纳米

可重复性 3σn-1     *1 *2 *5

5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X   : 0.04μm, 100X : 0.02μm

精度 *1 *3 *5

测量值+/- 1.5％

拼接图像精度 *1 *3 *5

10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm])

单次测量时测量点的大数量

4096 x 4096像素

测量点的大数量

3600万像素

XY载物台配置

长度测量模块

•

不适用

工作范围

100×100毫米电动

100×100毫米手动

大样品高度

100毫米

40毫米

激光光源

波长

405纳米

大输出

0.95毫瓦

激光分类

2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）

彩色光源

白光LED

电气功率

240瓦

240瓦

质量

显微镜主体

约31公斤

约32公斤

控制箱

约12公斤