异质结电池(HJT、HIT)制绒清洗设备—华林科纳CSE

工艺流程：

l H2O2工艺：SC1处理→纯水清洗→去损伤→纯水清洗→制绒→纯水清洗→纯水清洗→PSC1→纯水清洗→化学抛光(HNO3)→纯水清洗→SC2处理→纯水清洗→氢氟酸洗→纯水清洗→预脱水→烘干

l O3工艺：预清洗(O3)→纯水清洗→去损伤→纯水清洗→制绒→纯水清洗→纯水清洗→PSC1→纯水清洗→化学抛光(O3)→纯水清洗→SC2处理→纯水清洗→氢氟酸洗→纯水清洗→预脱水→烘干

技术特点：

l 兼容MES、UPS和RFID功能

l 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和槽体反应超时

l 结构布局紧凑合理并且采用双层槽结构，设备占地空间小

l 的400片结构，有效提高设备工艺产能

l 工艺槽体采用“定排定补”模式和“时间补液”模式相结合，有效延长药液使用寿命和减少换液周期

l 补配液采用槽内与补液罐双磁致伸缩流量计线性检测，以及可调节气阀控流结构，有效初配时间和微量精补配液的精度

l 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出

l 采用新低温烘干技术，槽内洁净度和温度控制精度

技术参数：

l 设备尺寸（mm）：26600(L)*2800(W)*2570(H)

l Uptime：≥95%

l 破片率：≤0.05%

l MTTR：4h

l MTBF：450h

l 产能：6000pcs/h

l 功率消耗：398KW