Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207爱德华分子泵
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- 2024-12-28 05:14:21
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信息介绍
详细参数
用途：
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
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