D07-19B精密气体流量计用于对气体的质量进行精密地测量和控制

D07-19B精密气体流量计产品简介;

★，快响应型

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★采用DB15型电插头，国际标准机械接头

★国际兼容

D07-19B精密气体流量计用途:


用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。


D07-19B技术参数：



产品型号

D07-19B

产品类型

型,快响应型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤2sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

0.95kg