ulvac日本爱发科进口气动隔膜抽真空泵G-5/5DA/10DA/20DA小型工业用抽气维修半导体

ulvac日本爱发科进口气动隔膜抽真空泵G-5/5DA/10DA/20DA小型工业用抽气维修半导体
・拥有丰富的业绩，实现了格的油旋转真空泵。

・小型携带方便的真空泵。适合嵌入装置的紧凑尺寸。

・与皮带方式相比，电动机可实现高速旋转且小型排气速度大的直结型。

・低噪音低振动。

・1段排气方式比2段排气方式便宜。

・2段排气方式比1段排气方式低的压力（好的真空）。

・逆流防止机构的搭载模型，由于停电等的影响停止的时候，抑制向真空室的油的逆流。

・内置热敏保护器的安全设计。

・可以从大气压开始工作。

・通过内部零件的定位销进行连接及法兰契马达便于维护。(部分除外)