东莞扩散泵生产厂家

目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。增加附件。

如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。给出合适的前级泵的容量。为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。用微机控制运行和故障诊断。密封处要选的放气率和透气率小的橡胶圈。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。
次要的返流（即冷凝在表面上的泵油迁移和再蒸发是表面温度和泵油蒸汽压的函数，到达真空室的这种返流量取决于设置在泵与真空室之间的冷阱的几何形状和温度，常用液氮（77K）冷阱来捕集油分子。
对于使用吸附剂（如沸石）的障板，为避免油分子直线飞行，要设置交错的吸附剂托盘。沸石是一种含有直径比气体分子直径稍大的微孔物质。1盎司（28.35g）沸石内部约有5英亩吸附面积，在小型真空系统中，使用分子吸附剂障板是有效的。
当系统真空度达到油扩散泵的前置压强（5×10-2托）后，启动扩散泵，使加热电流逐渐升到额定（佳）值。在启动扩散泵前，先开冷却水。扩散泵正常工作后，用火花检漏器（或热偶计）判断量测系统的真空度。到10-3托以上（热偶计近满偏或95格以上）才能使用电离真空计。使用时先对规管除气，后测量真空度。