EDWARDSSTP-XA4503C爱德华磁力轴承涡轮分子泵维修-刻蚀分子泵

EDWARDS STP-XA4503C爱德华磁力轴承涡轮分子泵维修-刻蚀分子泵

STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。 STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。

制品概要

STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。  

此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。 

它设计成既可以处理温和的应用，也可以处理严苛的应用，例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。