退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
表面淬火件回火;焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。
退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。退火炉骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁。
围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。退火炉传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。
炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用耐火砖结构,炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑,下部均添保温砖保温。
并在出口安装一只手动碟阀,该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。