修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中。
例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉。
超节能结构,采用纤维结构,节电60%。热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉,主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火。
围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。退火炉传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。
台车式退火炉是国家标准节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电30%。生产采用复合式高铝瓷钉组。
台车防撞击密封砖,自动密封台车和炉门,一体化连轨,不需基础安装,放在水平地面即可使用。主要用于高铬、高锰钢铸件、球墨铸铁、轧辊、钢球、45钢、不锈钢等淬火、退火、时效以及各种机械零件热处理之用。