AMZ紧凑型直驱Z轴定位平台, 可灵活组合,搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台
产品特性:
·紧凑型直驱Z轴定位平台
·行程8mm,其他行程可定制
·内置光栅尺,重复定位精度可达±0.1um
·可灵活组合,搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台
·内置气缸配重
·典型应用领域:适用于亚微米级定位、光学对位平台。
规格参数
参数规格 | 单位 | AMZ65 |
行程 | mm | 8 |
持续力 | N | 7.35 |
峰值力 | N |
|
分辨率 | μm | ABI22: SINCOS |
ABI21: 0.5/0.2 | ||
AT2: SINCOS | ||
AT2: 0.2/0.05 | ||
重复精度 | μm | ABI22 SINCOS: ±0.2 (4096X) |
ABI21: 0.5/0.2:±1.0 | ||
AT2: 0.2/0.05:±0.5 | ||
AT2 SINCOS: ±0.1 (4096X) | ||
直线度 | μm | ±1.5 |
平面度 | μm | ±1.5 |
建议负载1 | kg | 0.5 |
运动质量2 | kg | 0.26 |
总质量2 | kg | 0.60 |
负载 | kg | 7.0 |
侧倾力矩 | Nm | 7.4 |
俯仰力矩 | Nm | 4.0 |
横摆力矩 | Nm | 4.8 |
注:
1.在此负载下,平台可以提供不少于1G的加速度。
2.运动质量和总质量不包含建议负载。