修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中。例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉。并在出口安装一只手动碟阀,该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。
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