英福康INFICONUL1000Fab维修保养

英福康干式氦气检漏仪 INFICON UL1000 Fab：

稳定性和灵敏度的新疆界，检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的*的泄漏率低达<5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。

英福康干式氦气检漏仪 INFICON UL1000Fab、UL5000：

英福康干式氦气检漏仪 INFICON UL5000：

检漏过程中可定义速度和精度

INFICON UL5000 氦气检漏仪设计用于满足***关键和***苛刻的检漏应用。通过在经现场验证的真空设计中采用 INFICON 软件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供测试灵活性、高灵敏度和快速、的测量结果，使得所有检漏应用更迅速、容易。

该 UL5000 在所有测量范围中提供快速响应时间，并提供极短的周期时间以达到测试条件和***终结果。特别设计的真空结构提供持续、较高的氦气抽气能力及极快的响应时间。

英福康干式氦气检漏仪 INFICON UL1000Fab、UL5000：

功能：

HYDRO-S（氢气抑制）可确保快速满足所有测试条件。

I-CAL（智能 - 泄漏率计算法）确保了在所有测量范围中提供快速泄漏响应。

特殊的多入口涡轮分子泵可提供优化的较高氦气抽气能力及全压力范围内的高氦气压缩比，实现了灵敏度、响应度和快速清洁性。

增压涡轮分子泵可对所有测试对象做出极快响应，包括容量和腔室。

经现场验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪多年以来的、可重复结果实现了无故障、免维护的设计。

自保护功能可防止 UL5000 受到氦气和微粒的污染，自动吹扫循环可确保 UL5000 的随时可用性。

旋转式显示器/控制界面和可选配的手持遥控器实现了操作灵活性。

装置和系统软件的访问控制可通过软件激活，防止未授权使用或测试设置的意外修改。

通过电子邮件进行的软件更新可确保您的 UL5000 发挥性能。

具有高度工作面的工作站设计以及 ESD 台垫和工具箱实现了测试便利性。

英福康干式氦气检漏仪 INFICON UL1000Fab、UL5000：

典型应用：

半导体和平板显示装置上使用的测漏部件、配件和大型腔室

检漏半导体和平板工具

检漏航空部件、配件和系统

检漏储存容器/储存罐</a>