LF420-S型小流量气体质量流量控制器/流量计适用于5SCCM~30SLM量程范围内气体的精 确测控。可选数字式、模拟式、普通型、型、耐高压型,应用领域广泛,可用于真空及高压等特殊领域。
详细介绍
成都莱峰科技生产的热式气体质量流量计/控制器,为精度高、响应快、稳定性好、的自动测控产品,其流量精度不受气体压力、环境温度的影响,适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整,可选择数字式、模拟式、普通型、型、耐高压型,超大流量型,应用领域广泛,可用于真空及高压等特殊领域。
特点:*用于小流量的测控,精度高
*模拟电路,稳定性好,抗干扰能力强
*可靠性高,安装简单,操作方便。
功能 热式小流量气体质量流量控制器/流量计
基本型号 LF420-S / LF420-SM
满量程流量范围(N2) SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 50:1 / 100:1
精度(%F.S) ±1%
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5%
重复精度(%F.S.) ±0.2%
响应时间(sec) 1-3
流量输出信号 0-5 DCV/4-20mA
流量设定信号 0-5 DCV/4-20mA
电器接头 DB9 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.05~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-8
耐压 3MPa
介质接触材质 316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头尺寸 VCR 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求 24V