干式真空泵维修与保养

edwards iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有大可靠性。

edwards iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。



应用
半导体的目标应用包括：

PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：

PECVD
TCO
刻蚀
传输腔



主要特性和优势
针对的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的国际标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。