气浮导轨直线电机平台采用高精密气浮导轨作为运动导向,运动系统无摩擦阻尼,大大提高系统运行精度。系统采用直线电机驱动,高精密光栅尺或激光尺反馈。平台系统整体采用花岗岩结构。 技术指标: 直线度小于0.3μm(100mm) 优势: 低振动 免维护 无摩擦 运行平稳 系统应用:激光加工,精密微纳加工、精密测试测量,液晶面板加工、检测,Wafer加工检测等
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