合资品牌气体质量流量计

产品指标
流量(N2)10mL ~ 50L/min低压差 20L/min
阀门类型 常闭电磁调节阀
控制范围2% ~ F.S.
反应时间 2sec(T98)
精度±1%F.S.
工作压差 5L/min以下(50-300)kPa 10L/min-30L/min(100-300)kPa 50L/min(150-300)kPa 低压差产品(15-300)kPa
耐压3MPa
漏率 1×10-8Pa·m3/s(He) 金属密封1×10-11Pa·m3/s(He)
使用温度(5~45)℃
密封材质 316L,PTFE,Viton
供电电源±15VDC(±5%);+15V<100mA,-15V<150mA;+11VDC ~ 25VDC
设定信号 (0 ~ 5)VDC 输入阻抗>1MΩ 4~20mA,1~5V,0~5V
接头D-SUB15,D-SUB9
重量 0.94kg 金属密封 1.02kg