产品指标
流量(N2)10mL ~ 50L/min
阀门类型 常闭电磁调节阀
控制范围2% ~ F.S.
反应时间 1sec(T98)
精度±1%S.P.(≥30%F.S.),±0.3%F.S.(<30%F.S.)
工作压差 10L/min以下(50-300)kPa 10L/min-30L/min(100-300)kPa 50L/min(150-300)kPa
耐压3MPa
漏率 1×10-8Pa·m3/s(He) 金属密封1×10-11Pa·m3/s(He)
使用温度(5~45)℃
密封材质 316L,PTFE,Viton
供电电源±15VDC(±2%);+15V,1500mA,-15V,2000mA
设定信号 模拟(0 ~ 5)VDC 数字RS232/485
波特率:4800/9600/19200
接头D-SUB15
重量 0.9kg
金属密封 1.02kg
保修期 1年 终身维护