高低温分析探针台

规格 SC-6 SC-8 SC-12
外形 860mm长*850mm宽*700mm高 880mm长*860mm宽*750mm高 1400mm长*920mm宽*920mm高
重量 150公斤 约170公斤 约250公斤
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 6英寸，可360度旋转 8英寸，可360度旋转 12英寸，可360度旋转
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移动精度 1um
切换样品功能 样品台快速拉出
样品固定方式 真空吸附
电学运用 电学立悬空，可作为背电极使用
针座平台 规格 O型平台，多可放置8个针座 O型平台，多可放置10个针座 O型平台，多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um
温控特性 温度范围 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃
温控精度 温度分辨率 ： 0.01°C
加热电源 LVDC 低压直流
低控温速率 ±0.1°C /小时
传感器 Pt100
制冷方式 液氮制冷
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
切换镜头方式 显微镜气动升降 注1
放大倍数 16~100X/20~4000X
镜头规格 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X（选配）
CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA（配置屏蔽箱时）
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口
应用方向 高低温环境下，晶圆测试，PCB/封装器件测试，材料测试，射频测试等。
可选附件 探针卡夹具
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
射频测试附件
高压/大电流测试套装
屏蔽箱
转接头
防震台
镀金卡盘
同轴叁轴卡盘
光强/光谱/波长测试选件
射频测试附件
有源探头
低电流/电容测试
光纤夹具耦合测试选件
封装器件夹具
PCB/封装夹具测试选件
特殊定制