电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司,它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中,等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。
Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用,可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。