(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响,可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵,以降低压缩比,减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱,可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力,能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa,特点是启动快,油的污染小。在机组内增加液氮冷阱,可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱,可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等,可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较,它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后,即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止,不会污染系统;
无油、无声、无振动,改善了工作环境;
极限真空度高,抽速大,抽气时间短。
一、JZJW型罗茨往复真空机组的概述:
是以为主泵,以为前级泵串连而成。克服了WLW型真空泵极限压力高,在—定压力下抽气速率低的缺点,同时又保留ZJ系列罗茨真空泵工作迅速、有较大抽气速率的优点。所以JZJW系列罗茨无油往复真空机组被广泛运用于化工行业的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶;食品行业的冷冻干燥,医药行业的真空干燥等工艺过程中。
由于采用无油自润滑材料,可获得洁净真空,因此JZJW系列罗茨无油往复真空机组在排气口安装尾气收集装置后,可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体,如:戊二烯、苯、等气体,避免了因其沸点低、难收集而排放对环境所造成的污染。
二、JZJW型罗茨往复真空机组的优点:
1、极限真空度高,真空度长期稳定。
2、较高真空状态下抽气速率大。
3、电机功率小,能耗低。
4、由于组过流部分无油润滑,在机组排气口安装尾气收集装置后,可以收集在高真空系统中无法凝固无法压缩收集的气体如苯、等。
5、无二次水污染,减轻治污压力。
三、JZJW型罗茨往复真空机组的使用范围:
抽气速率:30~1200L/S(升/秒)
极限压强:1-133Pa(帕)
极限真空:≤1a(帕)
气体类型:常温无其它混合物的清洁空气,不允许有含其它粉尘及水分的空气。
工作要求:进口压强在大于6500Pa时连续工作时间,允许长时期连续工作。
环境温度:真空泵一般在不低于5℃的室温及不600%的相对温度的环境内使用
聚丙烯(PP)真空机特点:
水喷射真空机组、水循环真空机组,体积小,结构紧可移动,噪音低,能耗低,率便于综合利用。水汽串联喷射真空机组,耗气量小可获得更高的真空度,工作稳定,使用方便。