上海生产解胶UV机UV解胶机脱胶UVLED照射机

UV 解胶机

软件控制UV照射机UPA型，以PLC控制单片晶圆的UV胶膜照射过程，并随时显示实际执行的各项参数。
直径达220㎜的照射窗口，可处理8”至12”的标准规格晶圆。光源可更换更大面积的照射器。
特点：
桌上型设计－安装简单。
多功能控制面板－操作方便、稳定度高、维修容易，并可完成远端控制的需求，依需求修改控制模式，更改操作萤幕之字型等。
全程监视系统－UVLED紫外灯
1.采用UV冷光源，代替了传统的高压汞灯，经过试验认证，使用寿命比普通汞灯寿命长数十倍以上，安全性高，热量小，功耗低
2.一键式全自动根据设定完成所有操作，在达到照射时间后会自动关闭，不需要启动和等待时间。
3.采用触摸屏作为人机界面，集成操作和错误，报警显示
4.使用于3inch～12inch的wafer，Frame可以定制 
功能特点：适用于半导体晶圆切割后的UV解胶工序