一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况不良,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。
用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同
加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。
其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。
氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,真空箱氦检漏设备厂家,不会污染被检件,使用安全。在氦两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氦峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法,即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较,就可得出被检漏孔的漏率。
检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后,容器压力不再变化,这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等,即puSe=qL+q0,式中pu为容器的极限压力,Se为容器排气口处的有效抽气速率,qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计,则平衡式变为puSe=qL,或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。
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