UV 解胶机
UV解胶机是全自动化解胶设备,用于降低和消除UV薄膜和切割薄膜胶带的粘度。在半导体芯片生产过程中,芯片划片前,应使用划片胶膜将晶圆固定在框架上。划线工艺完成后,用紫外线照射固定胶膜,使UV胶膜的粘度固化硬化,以降低划线固定膜的粘度,便于后续密封工艺的顺利生产。换句话说,UV胶带具有很强的粘合强度,并且在晶圆研磨过程或晶圆切割过程中胶带牢固地粘附在晶圆上。当暴露在紫外线下时,粘合强度变低。因此,在紫外线照射后,晶片或芯片容易从胶带上剥离。UV脱胶机解决了晶圆、玻璃和陶瓷切割过程的脱胶过程。
用途:
适用于光学镜头、LED、IC、半导体、集成电路板、移动硬盘等半导体材料,玻璃滤光片等UV膜脱胶,UV胶带脱胶使用。UV解胶机是一种UV膜和切割膜胶带粘性降低和粘性解除的全自动化解胶设备。晶圆、玻璃等料件,使用UV TAPE贴胶于 8寸,12寸,15寸的支架治具解胶装置,具有率的解胶能力,可快速的降低UV TAPE贴于料件的黏性。
UV解胶机特点:
1)机身小巧,适合6/8/10/12寸芯片整片照射使用
2)时间和亮度可调,触屏操作,简单方便
3)自下而上照射, 方便放置晶圆
4) LED冷光源,环保产品,具有温度低、曝光均匀、结构紧凑、能耗小、是半导体行业的理想机型,且低温对热敏材料无损害
5) 使用寿命比普通汞灯寿命长10倍以上,连续使用寿命15000-30000H。
6) 零维护成本,长期工作无需更换照射光源零件
7) 封闭式光源设计,无紫外线侧漏,对人体无损伤
序号 | 配件 | 项目 | 单位 | 技术要求 |
1 |
控制系统 (UVSF81T)
| 电压 | 220V | |
2 | 控制方式 | 屏幕触控/脚踏/RS232/PLC | ||
3 | 照射功率可调范围 | 10%-100可调 | ||
4 | 照射模式 | 手动:启动后常亮 | ||
5 | 自动:设定照射时间(0.1-999.9s) | |||
6 | 阶梯:实现阶梯照射(1-20步数) | |||
7 | 循环阶梯:单次/无限 | |||
8 | 通信控制 | RS232串口:实现数据读写,LED开关及参数控制 | ||
9 | IO接口:LED开关控制及运行状态输出 | |||
10 |
照射头 (SFHD-350350) | 散热方式 | 风冷 | |
11 | 波长范围 | 365±5nm | ||
12 | 外形结构尺寸 | mm | 380X380X99 | |
13 | 发光尺寸 | mm | 350X350 | |
14 | 建议距离范围 | mm | 15-20 | |
15 | 峰值照射强度(MAX) | mW | 400 | |
16 | 电功率 | W | 1700 | |
17 | 烘箱 (UVJM) | 外形尺寸 | mm | 497X655X385 |
18 | 产品放置尺寸 | mm | 350X400 | |
19 | 电源线 | 电缆 | m | 2 |
20 | 连接线 | 拖链电缆 | m | 2 |