由于光学玻璃具有硬度高、脆性大的特点,在加工过程中极易产生表面疵病与亚表面损伤,属于典型的难加工材料。其超光滑表面成形技术及低成本加工工艺技术已经成为科技、航空航天、电子信息等领域急需研究的重要课题。对于光学玻璃等硬脆材料,超精密磨削技术是实现超光滑表面的佳手段。
H402-AZ数控平面磨床采用龙门式卧轴矩台的结构布局方式,配备运动功能部件、高分辨率测量与反馈系统以及数控系统与伺服驱动系统,具有结构刚度高、力热稳定性好和加工精度高的特点。另外,机床配备了在位测量系统,可完成大尺寸光学玻璃平面度快速、精密、可靠检测。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床结构。
工作台面采用整体花岗岩结构,在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨,以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动,同时为了防止直线电机的运动影响台面,为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制,从而了工作台具有、快速响应的运动特性。