因此,美国、德国、日本、英国等工业发达国家,对光学玻璃等硬脆材料的超精密磨削加工技术的研究十分活跃,已开发出的高刚度磨床,用于硬脆材料的超精密加工技术的研究,并且相关科研成果被应用于及民用工业领域。近年来,光学玻璃等硬脆材料超精密磨削装备及工艺技术研究已被列为资助的科研内容。
立柱、滑座与横梁,可控制由于热引起的机床变形,立柱和横梁采用花岗岩制成。砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上、安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动滚珠丝杠来完成,HEIDENHAIN光栅位置反馈。横向位移滑座以及垂直运动拖板的导轨同样采用的是液体静压导轨。
另外在垂直运动拖板上配备了微量进给机构,可以实现砂轮架0.1 μm的微进给。为了减少砂轮架滑座自重及其横向位移引起的横梁变形,在横梁的正上方设置了卸荷装置(卸荷横梁)。用以承担砂轮架滑座的大部分自重,并且通过HEIDENHAIN光栅位置反馈实现卸荷装置与砂轮横向位移滑座的运动同步,从而大限度的减少横梁变形对磨削加工的影响。