供应气体传感器测试腔不锈钢真空探针台微电子测试台厂家

科探仪器设备 真空加热测试台 气体传感器测试腔不锈钢真空探针台”的详细描述:

供应气体传感器测试腔不锈钢真空探针台 微电子测试台厂家


探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

实验腔体
腔体材质：304不锈钢

上盖开启：铰链侧开

内腔体尺寸：φ140x180

加热台材质：304不锈钢

观察窗尺寸;φ75

加热台尺寸:50x50

加热台温度:室温-350℃可调

加热台温控误差:±1℃

真空度:机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

真空抽气口:KF25

气体进气口:3mm-6mm卡套接头

进气阀门:高精密针阀

抽气阀门:KF25真空挡板阀

压力表:机械压力表 -0.1-0.15mpa

信号电极:4个

探针数量:4个

探针材质:φ1.5钨针 其他材质可选

探针移动平台:X轴移动行程 30mm ±15mm

X轴控制精度:≤0.1MM

Y轴移动行程:13MM ±6.5mm

Y轴控制精度:≤0.05MM

Z轴移动行程:13mm ±6.5mm

Z轴控制精度:≤0.05MM

信号电极:电极芯 1芯

电极引出接头:BNC母头

电极引出线:铜网信号屏蔽线

BNC引出接头:X4

额定电流:≤5A

额定电压:≤220V

电极芯直径:φ1mm

接触电阻:≤5MΩ

绝缘电阻:≥1000 MΩ

外壳接地:是

电子显微镜:电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通

联系电话：
手机/：152 8682 6848
:760625767
联系人：李工