光通信技术中,用于光纤芯片精密对准; 生物医学技术中,用于细胞的切割等。 所以精密定位技术的研究,可以不断提高纳米技术、激光技术、精密机械技术、微电子计术和生物医学技术等研究及生产。在集成电路中,要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造移动平台纟例可根据工作形式的不同分类而有相对应的产品:X轴、Y轴、Z轴、旋转、弧度、多维组合等,驱动方式手动和电动两大类。
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