氮化硅陶瓷在芯片中的应用

氮化硅陶瓷的性能对于现代技术经常遇到的高温、高速、强腐蚀介质的工作环境,具有特殊的使用因而使它在许多领域得到应用并有许多潜在的用途在冶金工业中,用作坩埚、燃烧嘴、铝电解槽衬里等热工设备上的部件。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

氮化硅陶瓷特点

氮化硅（Si3N4）分子中Si原子和周围4个N原子以共价键结合，形成[Si-N4]四面体结构单元，所有四面体共享顶角构成三维空间网，形成Si3N4，有两种相结构，α相和β。
氮化硅陶瓷具备高溶点,较高的高温抗压强度和较小的高温应力松弛特性,及其优良的耐热震、抗氧化性和构造可靠性氮化硅陶瓷的耐腐蚀工作能力强,可耐基本上全部的强氧化剂(盐酸以外)和30%下列的烧碱溶液及许多
柠檬酸的浸蚀。高温时氮化硅陶瓷在热学上不稳定,会在表层空气氧化,转化成二氧化硅防护膜,一般
这类防护膜使常规原材料具备的抗氧化能,但在具体运用标准下,如热机中,堆积的熔盐将会融解二氧化硅,导致氮化硅陶瓷的熔盐浸蚀,从而造成
原材料毁坏;在电解铝行业,做为电解质溶液的冰晶石会持续浸蚀做为电解槽里衬原材料的氮化硅陶瓷因而,近些年如何提高瓷器的抗熔盐腐蚀,是细致瓷器的科学研究网络热点,文中以氮化硅陶瓷熔盐浸蚀科学研究特征分析,小结了近研究成果。
氮化硅陶瓷在1285℃时氮化硅与二渗氮三钙Ca3N2产生下列反映：Ca3N2+Si3N4─→3CaSiN2氮化硅的制作方法有下列几类：在1300～1400℃时将粉末状硅与N2反映；在1500℃时将纯硅与氨功效；在含小量氡气的N2中烧灼二氧化硅和碳的化合物;将SiCl4的氨解物质Si(NH2)4分解反应。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

体积密度：3.1-3.3，抗弯强度：600-800MPa，外观颜色：黑灰色，产品纯度：99.9%

制造商：海合陶瓷，特性：高温陶瓷，微观结构：多晶与玻璃相，形状：片形

功能：夹持用陶瓷，产品参数：φ125*20*15MM，价格：175元/件，产地：四川德阳市

氮化硅陶瓷工艺

氮化硅陶瓷（Si3N4）材料化学性质稳定，耐腐蚀，除外不与其他其他无机酸反应，800℃干燥气氛下不与氧发生反应，超过800℃，开始在在表面生成氧化硅膜，随着温度升高氧化硅膜逐渐变稳定，1000℃左右可与氧生成致密氧化硅膜可保持至1400℃基本稳定。

高纯纳米级氮化硅粉体 

产品纯度：99.99%以上

干压成型，等静压成型 

根据产品的外形和尺寸不同，采用不同工艺，确保产品质量

根据用户需求选择合理工艺 

可提供反应烧结，常压烧结，气压烧结，热压烧结等不同工艺方法制备的产品

尺寸精度：高可达0.003㎜

光洁度：高可达Ra0.03

同心度：高可达0.003㎜

平行度度：高可达0.003㎜

内孔：小可加工0.04㎜

直槽：窄可加工0.1㎜

厚度尺寸：小可加工0.1㎜

螺纹：小可加工内螺纹M2，外螺纹不限

氮化硅陶瓷精密结构件生产定制 

氮化硅，氧化锆陶瓷商品选用等静压方法生产制造，密度大，抗压强度高，能考虑顾客对商品高精密，密度高的的规定，热烈欢迎新老顾客来图来样加工定制。

产品检测，符合图纸要求 

信用企业，技术性。企业是一家特种陶瓷的高新科技公司，是生产制造新式工业陶瓷，损氮化硅陶瓷等高精密产品的技术生产厂家。

包装运输确保产品安全送达 

陶瓷材料属于硬脆材料，安全可靠的包装是产品流通的后一道环节

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