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火电厂SCR脱硝装置的工艺系统主要包括烟气系统、喷氨系统、液氨储存蒸发系统、吹灰系统、SCR催化剂、安全辅助设施等。
烟气系统是指从锅炉尾部低温省煤器下部引出口至SCR反应器本体入口、SCR反应器、SCR反应器本体出口至回转式空气预热器入口之间的连接烟道。为了使与烟道连接的设备的受力在允许范围内，特别考虑了烟道系统的热膨胀，热膨胀通过膨胀节进行补偿。
喷氨系统包括稀释风机、氨控制阀、氨气/空气混合器、喷氨格栅及相应的辅助设施。液氨靠自身的压力从储氨罐输送到蒸发器，氨气在蒸发器中被热水加热蒸发成为氨气，然后氨气进入氨气缓冲罐；从缓冲罐出来的氨气经过控制流量的控制阀后进入氨气/空气混合器。氨气在此与由稀释风机过来的空气混合，稀释后的氨气浓度降低至一个安全浓度，然后经过喷氨格栅注入SCR入口的烟气中。
液氨储存蒸发系统包括卸氨压缩机、储氧罐、液氨蒸发器、氨气缓冲罐、氨气稀释罐、废水泵、废水池等。液氨的供应应由液氨槽车运送，利用卸氨压缩机将液氨由槽车输入储氧罐内，将储氧罐中的液氨输送到液氨蒸发器内蒸发为氨气，经氨气缓冲罐来控制一定的压力及其流量，然后与稀释空气在混合其中混合均匀，再送达脱硝系统。
为防止由飞灰沉积造成催化剂的堵塞，除去烟气中硬且直径较大的飞灰颗粒，因而在SCR反应器上装有声波吹灰器或蒸汽吹灰器。部分烟气脱硝系统在SCR反应器前设置灰斗，当锅炉低负荷运行或检修吹灰时，收集烟道中的飞灰，始终保持烟道中的清洁状态。
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