科玺蓝宝石研磨悬浮液超声波工业清洗剂工业研磨清洗剂

蓝宝石研磨液(又称为蓝宝石抛光液)是用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液。蓝宝石研磨液由聚晶金刚石微粉、复合分散剂和分散介质组成。
基本简介
蓝宝石研磨液(又称为蓝宝石抛光液)是用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液。蓝宝石研磨液由聚晶金刚石微粉、复合分散剂和分散介质组成。

蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性，在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。

蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用:

1. 外延片生产前衬底的双面研磨:多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道，根据终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。

2. LED芯片背面减薄

为解决蓝宝石的散热问题，需要将蓝宝石衬底的厚度减薄，从450nm左右减至100nm左右。主要有两步:先在横向减薄机上，用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度;再用抛光机(秀和、NTS、WEC等)针对不同的研磨盘(锡/铜盘)，采用合适的蓝宝石研磨液(水/油性)对芯片背面抛光，从150nm减至100nm左右。