气体质量控制器气体配比器国产质量流量计

产品型号：D07-7K
产品系列：D07系列模拟质量流量控制器
产品类型：普通型


★大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC
★分流器不易堵塞
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

产品型号：D07-7K


流量量程：20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm

产品精度：±1％F.S.

重复精度：±0.2% FS

线性：±1％F.S.

响应时间：≤4sec

工作温度范围：(5~45)°C

耐压：3MPa

密封材料：氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene

输入输出信号：(0~5)VDC

电源：±15V

阀类型：常闭



电气连接：D sub 15 pins Female

工作压差范围：(0.1～0.5) MPa

漏率：1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 /sec He）

标准接头形式：双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头



联系人：李工

联系电话：


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