超净氮气真空烘箱

1.同时实现真空、洁净、无氧和高温组合运行环境洁净度100级（FED-STD-209E）+高温≤230°C+真空度50K Par
2.整体不锈钢设计,内胆及层板架采用的均为SUS304不锈钢材料
3.采用进口免维护低噪音风机及HEPA
4.多级软硬件报警和保护功能
5.内容积330L或可按要求定制
6.采用5”触摸液晶显示屏，设定及监控简便
7.可实现参数及数据的处理、显示、记录等功能
8.PLC控制模块，手动定制，自动和程序等运行模式
真空烘箱产品主要应用：
•砷化镓半导体器件封装烘烤工艺
•微型传感器的封装工艺
•MEMS的封装工艺研发
•LED等器件封装工艺和材料无尘防氧化烘烤