为了统一洁净室的空气洁净度等级、各类技术要求,都陆续制定了各自的洁净室标准,
的美国之音FS209标准便是从1963年开始制定发布实施的,到1992年已从209A不断修改
变化为。洁净室标准是源于各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使
用要求,对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高,尤其是半导体集成电路的高速发
民是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志;洁净室标准也源于洁净技术的研
究开发和发展。因此洁净室标准的实施,对洁净室的设计建造和运行具有重要性、实用性,它
的统一技术要求,严格的技术条件规定,统一的检测方法以及明确、严格的安全技术规范,都
已成为建设洁净室工程的主要依据。洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参
数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。无菌室又分工业洁净室和生物洁净室。先讲工业
洁净室的建设核心!
1、洁净度
工艺制品车间如何正确选用参数的问题。根据不同的工艺制品,如何正确选用设计参数,是设
计中的根本问题。GMP 中提出了重要指标,即空气洁净度级别,空气洁净度级别是评介空气
洁净环境的核心指标。空气洁净度级别制定的不准确,就会出现大马拉小车的现象,即不经济
也不节能。如 30 万级的标准产生于医药局的一个包装新规范,目前用于主要制品工艺中则不妥
,而用于一些辅助房间效果就很好。
因此,选择什么样的级别直接关系到产品的质量和经济效益。影响洁净度的尘源主要来自工艺
生产过程中的物品产尘,操作人员的流动及室外新风所带大气尘粒等,控制尘源进入室内的有
效手段除对产尘工艺设备采用密闭式排风除尘装置外,对空调系统的新回风和人员通行吹淋室
采用粗、中、三级过滤
2、换气次数
一般性空调系统的换气次数每小时只需 8~10 次,而工业洁净室中的换气次数低级别也要12
次,别则需几百次,显然,换气次数的差别造成风量能耗的差异。设计中,在洁净
度准确定位的基础上,要足够的换气次数,否则运行结果不达标,洁净室抗干扰能力差,
自净能力相应加长等等一系列问题就得不偿失了。
3、静压差
不同级别的洁净室与非洁净室之间不能小于 5Pa,洁净室与室外不能小于 10Pa 等等一系列要求。
控制静压差的方法,主要是供给一定的正压风量,设计常采用的正压装置为余压阀、压差式电动
风量调节器和回风口处装设空气阻尼层。近年来,设计中常采用不设正压装置而在初调试中,使
送风量大于回风量和排风量的方式,并相应配设自动控制系统也能达到同样效果。
4、气流组织
洁净室的气流组织形式是洁净度级别的关键因素。SICOLAB目前设计中经常采取的气流组织
形式是依据洁净度级别来确定的。如 30 万级的洁净室常采用顶送顶回的方式,10 万级及 1 万级
的洁净室设计通常采用上送下侧回的气流方式,更别的则采用水平或垂直单向流的方式。
5、温湿度
除特殊工艺外,从采暖通风空调的角度讲主要维持操作人员的舒适性,即适宜的温湿度。另外,
还有几项指标应该引起我们的关注,如风口风管的截面风速,噪声再有风口风管截面风速、噪声、
照度及新风量的比例等等,在设计中不能忽视这几方面的考虑。