层流洁净棚是一种用于制造微电子产品、半导体、精密仪器等对环境要求严格的行业使用的设备,具有噪音低、风量小、振动小、洁净度高等特点。它采用层流罩(或者称为百级洁净罩)作为洁净单元,形式上类似于大的椭圆形空调箱。层流罩内有过滤器,可以控制空气的流向,使空气以一定速度流经滤尘器,然后流经过滤器,将尘埃粒子送至工作台面。
需要注意的是,不同类型的层流洁净棚,其洁净度与噪音数值可能会有所不同。
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层流洁净棚
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