MEMS微纳质量流量计(MassFlowMeter)用于测量气体介质的质量流量,是实现就地和远程监测的微纳仪表,由于测量基本不受压力和温度的影响,具有精度高、重复性好、量程比宽、抗干扰能力强等特点。MEMS微纳流量计按照国家标准要求制造,具有良好的兼容性和互换性。MEMS系列微纳质量流量计具备数据处理、记录、显示等相关功能,同时可实现NB-IOT物联远传功能,而且安装方便,维护简单。MEMS系列微纳质量流量计主要应用于医疗、制药、实验室微反应装置、混气配气系统、毛细管测量气相色谱仪,半导体生产过程、光纤制造过程,以及石油化工、冶金、焊接等过程控制。