电源模块IC200PWR102

电源模块 IC200PWR102

电源模块 IC200PWR102

电源模块 IC200PWR102

Applied Materials 0200-01991/020001991

Applied Materials (AMAT) 0020-23479 

Applied Materials (AMAT) 0200-09556

Applied Materials (AMAT) 0010-01067 

Applied Materials (AMAT) 0020-30797

APPLIED MATERIALS DP BACKPLANE PCB P/N 0110-A0900

10213 APPLIED MATERIALS KIT,ON-BOARD CHAMBER INTEGRATION 0240-70691

13333 APPLIED MATERIALS ETCH THROTTLE VALVE W/O DRIVE ASSY 0010-09019

14822 APPLIED MATERIALS BLOWER MOUNT HTF EPI ASSEMBLY 0040-35582

0100-76280 0040-24254 Applied Materials

本控制器的推理结构采用数据驱动的正向推理策略。产生式规则采用IFe（n）ANDe（n）TNout（n）形式。系统的关键是知识的建立、确定。知识获取，有些来自工艺人员的长期总结，有些借助于控制领域的知识和分析。 　　把系统和PID控制器结合，利用系统知识库输出修正PID参数，改变PID控制方式以达到佳PID控制效果。根据对象特性及设计要求，设计了99条控制规则，并预先将规则下的调整方法及调整参数存储于控制器中。控制规则根据当前偏差e（n）及其变化率△e（n）的大小，决定控制方式和是否需修改比例系数K P、积分增益KI和微分增益KD。控制过程中，控制器不需按系统辨识结果或某一目标函数整定PID参数，而是按当前状态对基本PID参数进行调整