AerotechABRT高精密气浮转台

Aerotech ABRT旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出
3的速度稳定性（电机无接头效应）
4的运动性能,误差小,无抖动
5直联旋转编码器
6超大的空心轴径，无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec

ABRT-150 ABRT-200 ABRT-260

ABRT超精密转台

1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计

2无刷无槽伺服电机直接驱动

3的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应）

4的运动性能,误差小,无抖动

5直联旋转编码器

6扁平结构设计

7无机械接触

台面直径100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

双向重复定位精度<1arcsec

定位精度<2 arc sec

异步轴跳<20nm

异步径跳<20nm