真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的,一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提,对除去大颗粒异物,玻璃碎屑效果明显,但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行,以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA(滤网)、ULPA(低效滤网)及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器,在拖地时和拖完后,地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除,起到干燥作用。
玻璃及玻璃产品的碎屑等大的废弃物被真空吸尘器去除。吸不到的地方可以在进行擦洗前进行明确标示。地面按照规定的流程使用湿式或者药液清扫方式。清扫期间,采用纯水或是药液时,为降低污染应该频繁换水。对于大面积的地面,除了按照规定流程作业外,为方便管理将地面划分不同区域进行清扫。清扫应从区域向一般区域方向进行。在无尘室内的清扫顺序并不是一成不变的,在洁净度要求很高的时候,有时要重复使用拖把,达到地面干净。 清扫时,为了防止不经意的危险,遇到阻碍物要迂回擦拭。药液和纯水拖地之后用真空吸湿器将多余的水吸走,缩短干燥时间。对于去除地面顽固性脏污,采用水喷雾/擦洗+真空吸湿器清扫。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类,并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后,做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率(每日一次/每周一次或其他频率)等进行相关规定。