扫描电镜分析(SEM+EDS)可实现金属、陶瓷、半导体、聚合物、复合材料等几乎所有固体材料的表面形貌、断口形貌、界面形貌等显微结构分析,借助EDS还可进行微区元素含量分析
扫描电镜测试的原理是基于电子与样品相互作用产生信号的。在高真空状态下,电子源发射电子束打到样品表面,与样品相互作用后产生各种信号,如散射电子、二次电子、反射电子等。这些信号被探测器收集并转换为电信号,终经处理后形成样品的表面形貌和微观结构图像。
扫描电镜测试的过程包括以下几个步骤:
1)样品准备:根据测试目的选择合适的样品,并进行表面处理,如清洗、干燥等。
2)安装与调试:将样品安装在扫描电镜测试设备的样品台上,并进行设备的调试和校准,以确保测试结果的准确性。
3)数据采集与处理:通过扫描电镜设备采集样品的表面形貌和微观结构图像数据,并对数据进行处理和计算,得到样品的各种参数和性能指标。
4)结果分析与评估:根据测试数据,对样品的表面形貌和微观结构进行分析和评估,包括形貌特征、尺寸分布、晶体结构等。