台州电子工业用氦气纯度及颗粒度测试分析

台州电子工业用氦气纯度及颗粒度测试分析

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中文名：高纯氦气分子式：He高纯氦气纯度：99.999%（5N）包装：40L国标无缝钢瓶高纯氦气产地：进口气体国内分装压力：14±0.5Mpa高纯氦气充装量：5.5M3左右成分 ? 高纯氦气 单位氦气 ≥ 99.999% %V氖气 ≤ 4 ppmv氢气 ≤ 1 ppmv氧气 ≤ 1 ppmv氮气 ≤ 2 ppmv一氧化碳 ≤ 0.5 ppmv二氧化碳 ≤ 0.5 ppmv甲烷 ≤ 0.5 ppmv水份 ≤ 3 ppmv   工业氦气GB/T 28123-2011 纯氦高纯氦超纯氦 GB/T4844-2011

电子工业用氦气GB/T 16943-2009