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高纯氦气
氦气纯度>99.999%,
杂质含量(ppm):
O2≤0.5,
N2≤1.0,
CO≤0.5,
CO2≤0.5,
CH4≤0.5,
H2O≤0.5,
Ne≤8.0;
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氦气纯度>99.9999%,
杂质含量(ppm):
N2≤0.5,
O2≤0.5,
Ne≤0.5,
CO≤0.1,
CO2≤0.1,
THC≤0.1,
H2O≤0.2;