离子研磨测试_截面制样及界面表征检测

服务内容

离子研磨（CP）测试是在真空条件下，离子枪中低压惰性气体（氩）离子化，出射的阳离子又经加速，获得具有一定速度的离子束投射到样品表面，由于离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，所以离子束比电子束具有更大的撞击动能，靠微观的机械撞击能量加工样品。广电计量拥有检测设备，提供一站式离子研磨（CP）测试服务。离子研磨测试_截面制样及界面表征检测

服务范围

主要用于半导体材料、电池电极材料、光伏材料、不同硬度合金、岩石矿物质、高分子聚合物、软硬复合材料、多元素组成材料等的截面制样、界面表征。

检测项目

离子研磨能实现无应力的横截面和几乎所有材料刨面，揭示了样品的内部结构同时大限度地减少变形或损坏，即的截面制样、界面表征。

相关资质

CNAS

测试周期

常规5-7个工作日，可加急

服务背景

离子研磨通过氩离子束物理轰击样品，达到切割或表面抛光的作用。为什么要进行表面抛光？那是因为在对精细电子元器件切片的时候，往往会因为切片造成了金属延展、颗粒物填充等情况，对后续的检查带来不利影响。而这些就是前文提到的人为损害。因此，我们对样片进行表面抛光，可以在减免人为损伤的前提下，展现内部缺陷形貌。

我们的优势

1、配合工信部牵头“面向集成电路、芯片产业的公共服务平台建设项目”“面向制造业的传感器等关键元器件创新成果产业化公共服务平台”等多个项目。

2、在集成电路及SiC领域是技术能力全面、度高的三方检测机构之一，已完成MCU、AI芯片、安全芯片等上百个型号的芯片验证。

3、在车规领域拥有AEC-Q及AQG324全套服务能力，获得了近50家车厂的认可，出具近300份AEC-Q及AQG324报告，助力100多款车规元器件量产。

案例分享

离子研磨应用于半导体失效分析案例展示