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微电子和纳米技术:SEM+EDS可以用于研究纳米材料、纳米器件和纳米结构的形貌和成分,例如在研究纳米材料的晶体结构、界面反应和化学成分方面,SEM+EDS都发挥了重要作用。
SEM+EDS分析的主要工作原理是:当X射线光子进入检测器后,在Si晶体内激发出一定数目的电子空穴对。入射X射线光子的能量越高,产生的电子空穴对就越多。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对,经过前置放大器转换成电流脉冲,电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器,脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数,这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。
材料内部结构分析。通过SEM可以观察材料内部的微观结构和晶格常数等,为材料性能研究和优化提供依据。
快速分析:SEM+EDS的分析速度相对较快,可以节省时间和成本,适用于批量样品的分析和检测。
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