SEM通过聚焦电子束扫描样品表面,激发二次电子和背散射电子等信号,这些信号被转换为图像,从而揭示样品的微观形貌和结构信息。
EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面,激发原子内层电子并产生特征X射线,通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析技术具有高分辨率、高灵敏度、高准确性等优点,能够实现对样品表面和内部微观结构的深入分析和理解。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的微观结构和性能之间的关系,为材料的设计、制备和应用提供科学依据。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的微观力学性能和断裂行为,为材料的力学性能和断裂机理研究提供重要信息。
SEM+EDS分析技术可以用于研究生物样品的微观结构和成分分布,为生物医学研究和临床诊断提供重要信息。