江苏电子工业用氩气颗粒度及纯度第三方检测

项目

指标纯度%

高纯氩气(Ar)

99.999

99.9995

99.9997

超纯氩 99.9999

杂质含量(ppm)

氮(N2)

≤5

≤5

≤3

≤0.4

氧(O2)

≤2

≤0.5

≤0.5

≤0.2

氢(H2)

≤1

-

-

-

一氧化碳(CO)

-

≤1

≤0.5

≤0.1

二氧化碳(CO2)

-

≤1

≤0.5

≤0.1

水份 (H2O)

≤4

≤0.5

≤0.5

≤0.2

总烃类THC

≤2

≤0.3

≤0.2

≤0.1