高纯气体第三方检测机构

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高纯气体第三方检测机构

我公司是第三方气体检测机构,压缩空气、电子工业用气体、工业气体、高纯气体、食品用气体、医用气体的检测、未知成分气体检测、混合气体、工业气体等都可检测,只需3-5个工作日可出具检测报告。可上门取样,也可收寄样品,提供采样工具,业务范围面向全国,欢迎来电咨询!刻蚀:是采用化学和物理方法,有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程,刻 蚀的目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形,可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。硅片的 刻蚀气体主要是氟基气体,包括 CF4、CF4/O2、SF6、C2F6/O2、NF3 等,但由于其各向同 性,选择性较差,因此改进后的刻蚀气体通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)气体。 铝和金属复合层的刻蚀通常采用氯基气体,如 CCl4、Cl2、BCl3 等。

我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段,广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保和医疗等新兴产业领域,在《十 三五国家战略新兴产业发展规划》等产业政策的推动下,特种气体的下游产业迅速发展, 同时产业创新、技术迭代带来新工艺和新产品等,不仅在规模上增加了特种气体的需求, 也进一步拓宽了特种气体的应用领域,不断产生新的特种气体产品需求。




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