SEM通过聚焦电子束扫描样品表面,激发二次电子和背散射电子等信号,这些信号被转换为图像,从而揭示样品的微观形貌和结构信息。
EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面,激发原子内层电子并产生特征X射线,通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析可以用于检测样品表面的微小缺陷、裂纹、腐蚀等现象,为材料科学、质量控制和失效分析等领域提供重要信息。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的微观结构和性能之间的关系,为材料的设计、制备和应用提供科学依据。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的相变、扩散、析出等过程,为材料的热处理和改性提供科学依据。
在SEM+EDS分析中,需要注意样品的尺寸和形状对分析结果的影响,需要选择合适的样品尺寸和形状,以确保分析的准确性和可靠性。
SEM+EDS分析技术可以用于分析地质样品的矿物成分和结构特征,为地质勘探和资源评价提供重要信息。
在SEM+EDS分析中,需要注意样品的污染和损伤对分析结果的影响,需要采取适当的措施避免样品污染和损伤。